ПОСТАНОВЛЕНИЕ Минтруда РФ от 21.01.2000 N 5 "ОБ УТВЕРЖДЕНИИ ЕДИНОГО ТАРИФНО - КВАЛИФИКАЦИОННОГО СПРАВОЧНИКА РАБОТ И ПРОФЕССИЙ РАБОЧИХ, ВЫПУСК 20, РАЗДЕЛЫ: "ОБЩИЕ ПРОФЕССИИ ПРОИЗВОДСТВА ИЗДЕЛИЙ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ", "ПОЛУПРОВОДНИКОВОЕ ПРОИЗВОДСТВО", "ПРОИЗВОДСТВО РАДИОДЕТАЛЕЙ", "ЭЛЕКТРОВАКУУМНОЕ ПРОИЗВОДСТВО", "ПЬЕЗОТЕХНИЧЕСКОЕ ПРОИЗВОДСТВО"
1. ПРОИЗВОДСТВО И ОБРАБОТКА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ
§ 1. Аппаратчик восстановления полупроводниковых материалов
Характеристика работ. Ведение процессов восстановления полупроводниковых материалов (хлориды кремния, германия, моносилана и др.) в электрических печах с заданными электрофизическими, фотоэлектрическими и оптическими свойствами, геометрическими размерами, а также конденсации продуктов реакции из парогазовой смеси. Дозированное легирование в процессе восстановления. Наблюдение за режимами процессов и их регулирование. Регулирование температуры процесса согласно режимной карте, скорости подачи исходных компонентов и газа - восстановителя, силы тока и напряжения, давления и разрежения в системе, расхода газа и охлаждаемой воды. Наладка и обслуживание печей, вакуумной аппаратуры, установок тонкой очистки водорода, установок конденсации продуктов реакции, контрольно - измерительных приборов, средств автоматики и сигнализации. Прием сырья и материалов, подача и загрузка сырья и полуфабрикатов. Подготовка лигатуры, графитовой и другой оснастки. Отбор проб. Продувка реактора нейтральным газом. Участие в ремонте обслуживаемого оборудования. Монтаж и демонтаж печей. Снятие реактора и переноска его к месту демонтажа. Проверка герметичности печей. Зарядка и наладка аппаратуры. Мойка реактора. Чистка печей, воздуховодов, конденсаторов от побочных продуктов реакции. Ведение записей показателей работы печи, хода технологического процесса. Вскрытие печей после процесса и выгрузка готовой продукции. Постоянное поддержание чистоты на рабочем месте. Дегазация оборудования и помещений при загрязнении их токсичными веществами.
Должен знать: технологическую схему производства; режимы и методы восстановления полупроводниковых материалов; устройство основного и вспомогательного оборудования, контрольно - измерительных приборов, средств автоматики и сигнализации; физико - химические свойства сырья, готовой продукции и вспомогательных материалов; технические условия и государственные стандарты на сырье, готовую продукцию и вспомогательные материалы; основа легированная и правила расчета лигатуры; режимные карты и рабочие инструкции; основы электротехники, вакуумной техники, физики, химии, электроники, кристаллографии; основы технологических процессов; правила выявления и устранения неисправностей в работе обслуживаемого оборудования; системы технологических и энергетических коммуникаций.
При ведении процесса восстановления полупроводниковых материалов под руководством аппаратчика более высокой квалификации - 3-й разряд.
При ведении процесса восстановления полупроводниковых материалов с корректировкой процесса; при подготовке и обработке оснастки - 4-й разряд.
При ведении процесса восстановления полупроводниковых материалов с отработкой технологии по заданным свойствам, наладке технологии и технологического оборудования - 5-й разряд.
Требуется среднее профессиональное образование.
§ 2. Аппаратчик по выращиванию монокристаллов и лентХарактеристика работ. Выращивание монокристаллов без жестких электрофизических параметров. Ведение процессов синтеза и выращивания многокомпонентных полупроводниковых материалов, очистки исходных элементов, применяемых для синтеза, путем зонной плавки, направленной кристаллизации Чохральского, термообработки, высокотемпературной ректификации и дистилляции под руководством аппаратчика более высокой квалификации. Приготовление лигатур методом сплавления, дозированный разлив и расфасовка в герметичные контейнеры. Загрузка полученного продукта в контейнеры и их герметизация. Обслуживание вакуумных установок с высокочастотным нагревом, их подготовка, пуск и остановка, загрузка и разгрузка. Наблюдение за режимами процесса и регулирование их. Контроль за работой приточно - вытяжной вентиляции, сигнализаторами горючих и токсичных газов, величиной давления газов в газопроводах. Своевременное определение неисправностей в работе установок и принятие мер к их устранению. Запись режимов процесса по показаниям приборов в журнале. Поддержание чистоты на рабочем месте. Дегазация оборудования и помещений при заражении их токсичными веществами.
Должен знать: принцип работы обслуживаемого основного и вспомогательного оборудования; назначение и устройство контрольно - измерительных приборов, средств сигнализации и автоматики; физико - химические свойства сырья, готовой продукции, вспомогательных материалов, реактивов, газов; магнитные и технологические свойства выращиваемых сплавов; основные законы электротехники в пределах выполняемой работы.
§ 3. Аппаратчик по выращиванию монокристаллов и лент4-й разряд
Характеристика работ. Ведение технологического процесса выращивания монокристаллов органических и неорганических материалов с соблюдением требований по структуре и геометрическим размерам. Обслуживание вакуумных установок с индукционным нагревом, с нагревателем электросопротивления, а также генераторов высокой частоты. Отжиг исходных материалов и выращенных монокристаллов для получения необходимых параметров. Подготовка сырья и аппаратуры для роста кристаллов. Регулирование температуры плавления и кристаллизации, диаметра получаемого слитка, напряжения, вакуума, расхода газа и охлаждаемой воды по показаниям контрольно - измерительных приборов и визуально. Ведение технической документации. Участие в ремонте обслуживаемого оборудования. Проверка герметичности оборудования.
Должен знать: устройство, способы наладки и проверки обслуживаемого основного и вспомогательного оборудования; сущность технологического процесса роста монокристаллов и правила регулирования его; назначение контрольно - измерительных приборов, их устройство и условия применения; ГОСТы и технические условия на готовую продукцию; способы выявления и устранения неисправностей в работе оборудования, предупреждения брака и производственных потерь; нормы расхода сырья на единицу готовой продукции; основы теории в пределах выполняемой работы.
§ 4. Аппаратчик по выращиванию монокристаллов и лент5-й разряд
Характеристика работ. Ведение процесса выращивания монокристаллов различных материалов с повышенными требованиями по структуре, геометрическим размерам, электрофизическим, оптическим, фотоэлектрическим параметрам. Подборка и настройка температурных режимов установок. Управление печами периодического и непрерывного действия. Обслуживание установок с автоматической регулировкой температуры и технологического режима выращивания монокристаллов в контролируемой среде.
Должен знать: устройство различных типов и конструкций основного и вспомогательного оборудования, применяемого для получения монокристаллов; методы составления и правила использования программ выращивания монокристаллов; виды термопар и область их применения; основы физики, химии, электро- и вакуумной техники, технологию получения чистых веществ.
Требуется среднее профессиональное образование.
§ 5. Аппаратчик по выращиванию монокристаллов и лент6-й разряд
Характеристика работ. Ведение процесса выращивания монокристаллов различных материалов всеми известными методами. Ведение процесса выращивания опытных образцов монокристаллов. Освоение нового, более производительного технологического оборудования. Расчет шихты для плавки, введение в шихту лигатуры в соответствии с ее заданным составом с учетом сопротивления загруженных материалов. Наладка и обслуживание установок в процессе работы. Выявление неисправностей электрической части оборудования. Определение годности слитков монокристаллов.
Должен знать: конструкцию, способы и правила проверки на точность установок по выращиванию монокристаллов; методы и способы выращивания кристаллов из различных полупроводниковых материалов; виды и применение выращиваемых монокристаллов; основы кристаллографии; физико - химические и электрические свойства полупроводниковых материалов; различные расчеты, связанные с выполнением работ.
Требуется среднее профессиональное образование.
§ 6. Аппаратчик по обслуживанию рекуператоров и системы охлаждения5-й разряд
Характеристика работ. Ведение процесса подогрева вторичного воздуха для циклонной печи и подогрева воздуха, идущего на сушку материалов. Регулирование температуры в цепи аппаратов газового тракта. Отбор проб. Наблюдение за монометрическим и температурным режимами аппаратов и выходом грубых возгонов (оборотных материалов), за поступлением воды в змеевики и кессоны водоохлаждаемых аппаратов. Переключение газопроводов. Выгрузка из аппаратов уловленной пыли. Очистка газопроводов и водоохлаждаемых поверхностей оборудования от осевших материалов. Обслуживание дробеочистки рекуператора, запорных и выпускаемых затворов, дросселей, задвижек и другого оборудования, участие в их ремонте. Охлаждение газов водой путем впрыскивания ее форсунками. Увлажнение и затаривание материалов.
Должен знать: устройство аппаратов, выпускных механизмов и другого обслуживаемого оборудования, их назначение и взаимодействие; влияние тяги и температуры газа на режим работы всего газового тракта цеха; схему газовой, воздушной и водяной коммуникаций; состав газов; виды и основные свойства возгонов и сырья; требования, предъявляемые к обслуживанию аппаратов.
При выполнении работ под руководством аппаратчика более высокой квалификации - 4-й разряд.
§ 7. Аппаратчик по получению высокочистых материалов для полупроводникового производства3 - 5 разряды
Характеристика работ. Ведение процессов очистки водорода от примесей и его осушки, получения заготовок из синтетической двуокиси кремния методом высокотемпературного гидролиза, термообработки заготовок (остекловывания), раздувки или обжига при изготовлении изделий и аппаратов требуемых геометрических размеров, доводка их вручную. Проверка герметичности коммуникаций. Продувка системы азотом. Подача очищенного водорода к печам восстановления. Обслуживание пульта управления очистки и вакуумных насосов. Контроль за температурой на адсорберах блока очистки водорода. Прием сырья и материалов, подача и загрузка сырья, полуфабрикатов, реактивов и их дозирование. Регулирование температуры процесса, вакуума, подачи воды, газа. Приготовление растворов кислот и щелочей заданной концентрации. Предупреждение и устранение причин отклонений от норм технологического режима. Подготовка, пуск, наладка и обслуживание печей, аппаратов, механизмов, электроустановок, контрольно - измерительных приборов, средств автоматики и сигнализации. Ведение записи показателей работы обслуживаемого оборудования, хода технологического процесса. Постоянное поддержание технологической чистоты оборудования и рабочего места. Выявление и устранение неисправностей в работе оборудования и коммуникаций. Участие в ремонте механической части оборудования.
Должен знать: устройство основного и вспомогательного оборудования, контрольно - измерительных приборов, средств автоматики, сигнализации и сосудов, работающих под давлением; физико - химические и технологические свойства применяемых сырья, полуфабрикатов, реактивов, газов, готовой продукции и вспомогательных материалов; технические условия и государственные стандарты на сырье, готовую продукцию и вспомогательные материалы; нормы расхода сырья на единицу готовой продукции; физико - химические основы технологического процесса; технологическую схему производства; способы устранения неисправностей в работе, предупреждения брака и производственных потерь; основы физики, химии, электротехники и электроники.
При выполнении работ по термической обработке заготовок (остекловыванию) и выполнении вспомогательных работ по очистке и осушке водорода - 3-й разряд.
При ведении процесса высокотемпературного гидролиза, раздувки и обжига при изготовлении изделий из синтетической двуокиси кремния; очистки и осушки водорода под руководством аппаратчика более высокой квалификации - 4-й разряд.
При ведении процесса высокотемпературного гидролиза; раздувки или обжига при изготовлении изделий из синтетической двуокиси кремния, очистки и осушки водорода, наладки технологии и технологического оборудования - 5-й разряд.
§ 8. Аппаратчик по производству и химической очистке полупроводниковых материаловХарактеристика работ. Ведение процессов получения хлоридов и других соединений и элементов, их химической и сорбционной очистки. Ведение процесса очистки полупроводниковых материалов методом электрорафинирования с предварительной гидрохимической обработкой. Ведение процесса получения гидроокиси и выделения полупроводниковых элементов методом электролиза из растворов. Ведение процесса нейтрализации сточных и промывных вод и обезвреживания отходящих газов до санитарных норм, разложения силанов, отходов, концентратов и других материалов, содержащих полупроводниковые элементы и конденсации хлоридов. Отбор проб. Ведение процесса гидролиза хлоридов и осаждения солей, содержащих полупроводниковые элементы. Получение хлористого водорода и его соединений. Прием сырья и материалов, подача и загрузка сырья и полуфабрикатов и их дозирование, фильтрация, химическая и гидрохимическая обработка сырья. Предупреждение и устранение причин отклонений от норм технологического режима. Подготовка, пуск, наладка и обслуживание аппаратов, механизмов, контрольно - измерительных приборов, средств автоматики и сигнализации. Снятие, дегазация, установка контрольно - измерительных приборов. Ведение технической документации, учет готовой продукции. Выявление и устранение неисправностей в работе оборудования и коммуникаций. Постоянное поддержание чистоты на рабочем месте. Участие в ремонте обслуживаемого оборудования.
Должен знать: устройство основного и вспомогательного оборудования, контрольно - измерительных приборов, средств автоматики и сигнализации; способы устранения неисправностей в работе оборудования, предупреждения брака и производственных потерь; основы физики, химии, электротехники и электроники; физико - химические и технологические свойства сырья, полуфабрикатов, готовой продукции и вспомогательных материалов; технические условия и государственные стандарты на сырье, готовую продукцию и вспомогательные материалы; схему коммуникаций; технологическую схему производства.
При ведении процессов нейтрализации, химической очистки, фильтрации, осаждения, гидролиза под руководством аппаратчика более высокой квалификации - 3-й разряд.
При ведении процессов нейтрализации, химической очистки, фильтрации, осаждения, гидролиза; ведении процессов ректификации хлоридов и силанов, очистки полупроводниковых элементов методом электрорафинирования под руководством аппаратчика более высокой квалификации - 4-й разряд.
При ведении процесса ректификации хлоридов и силанов; при очистке полупроводниковых элементов методом электрорафинирования; при ведении процессов получения силанов, гидроокиси и других элементов и соединений путем хлорирования, непрерывного гидролиза и электролиза, наладки технологии и технологического оборудования под руководством аппаратчика более высокой квалификации - 5-й разряд.
Требуется среднее профессиональное образование.
При ведении процессов получения силанов, гидроокиси и других элементов и соединений путем хлорирования, непрерывного гидролиза и электролиза, наладки технологии и технологического оборудования 6-й разряд.
Требуется среднее профессиональное образование.
§ 9. Аппаратчик по химической обработке полупроводниковых материалов2 - 4 разряды
Характеристика работ. Ведение процесса химической обработки металла, технологической оснастки, кварцевых изделий, тары в кислотах, щелочах и смеси кислот. Подготовка к травлению и сушка металла и изделий. Перегонка кислот, подготовка растворов кислот, щелочей и солей требуемой концентрации. Подготовка, наладка и обслуживание аппаратуры для химической обработки металла, контрольно - измерительных приборов, средств автоматики и сигнализации. Ведение технической документации. Постоянное поддержание чистоты на рабочем месте. Участие в ремонте обслуживаемого оборудования.
Должен знать: технологию химической обработки исходных материалов, полупродуктов, полупроводниковых материалов и материалов интерметаллических соединений; виды и свойства кислот, щелочей, солей и других реактивов и материалов, применяемых для химической обработки, правила обращения с ними и хранения; причины брака, меры предупреждения и устранения его; физико - химические свойства сырья, готовой продукции, вспомогательных материалов; технические условия и государственные стандарты на сырье, готовую продукцию, вспомогательные материалы; правила работы с высокочистыми материалами; технологическую схему производства; основы физики, химии, химии чистых веществ в объеме программы средней школы; технологические карты и рабочие инструкции.
При выполнении вспомогательных работ по химической обработке полупроводниковых материалов, материалов интерметаллических соединений; при химической обработке технологической оснастки и тары - 2-й разряд.
При химической обработке полупроводниковых материалов и материалов интерметаллических соединений; приготовлении исходных растворов для химической обработки; перегонке кислот - 3-й разряд.
При сложной химической обработке в двух и более травителях - 4-й разряд.
§ 10. Плавильщик - литейщик прецизионных сплавовХарактеристика работ. Ведение процесса получения сплавов из благородных и редких металлов в электрической печи. Взвешивание на аналитических весах металлов, входящих в сплав. Обезжиривание сплавов, сушка. Подготовка ковша и загрузка кварцевых ампул навесками металлов. Изготовление электродных навесок коллектора из прецизионных сплавов. Проведение процессов литья электродных шариков коллектора, прокатка сплава коллектора и резка на электроды. Сортировка электродов по размерам, химическая обработка готовых электродов. Приготовление растворов для обработки.
Должен знать: принцип действия и блок - схему установки для литья; назначение и условия применения соответствующего вспомогательного оборудования; основные физико - химические свойства металлов, входящих в сплав; назначение и условия применения контрольно - измерительных приборов, приспособлений и инструментов, аналитических и технических весов; свойства материалов, используемых для обработки сплавов; оснастки (органические растворители, кислоты, щелочи), правила обращения с ними; правила приготовления растворов, смесей для обработки.
Примеры работ
Сплавы двух- и трехкомпонентные (свинец - серебро - олово; фосфор - индий - галлий; олово - свинец - сурьма; индий - сурьма - галлий; германий - сурьма - олово; свинец - индий, мышьяк - германий) - приготовление.
§ 11. Плавильщик - литейщик прецизионных сплавов3-й разряд
Характеристика работ. Проведение процессов плавки благородных и редких металлов в печах различных типов с применением вакуумной установки для создания вакуума в кварцевых ампулах с навесками металлов, на установках приготовления сплавов и открытым способом в ковшах. Изготовление пластин литьем из высокотемпературных сплавов. Изготовление электродных навесок эмиттера и базы из прецизионных сплавов. Проведение процессов изготовления электродных шариков эмиттера и базы, прокатка сплава эмиттера и базы и резка на электроды. Приготовление шлифа. Устранение мелких неисправностей вакуумной установки.
Должен знать: устройство и способы подналадки обслуживаемого оборудования электрической и водородной печей, вакуумных установок; устройство измерительной аппаратуры; основные свойства материала сплавов; технические требования на сплавы; основные понятия о механических и электрических свойствах материалов и деталей, идущих на сборку; элементарные понятия о процессах испарения и конденсации.
Примеры работ
1. Сплавы четырех- и пятикомпонентные (свинец - индий - висмут - сурьма - олово; свинец - висмут - сурьма - олово; свинец - индий - висмут - сурьма - галлий) - приготовление.
2. Сплавы шестикомпонентные (свинец - индий - висмут - сурьма - олово - галлий) - приготовление.
3. Сплавы высокотемпературные, содержащие драгоценные металлы (золото - германий - никель; свинец - серебро - олово; золото - цинк) - приготовление, литье пластин.
§ 12. Плавильщик - литейщик прецизионных сплавов4-й разряд
Характеристика работ. Проведение процессов: плавки в тигле или лодочке с целью приготовления готовых сплавов; бестигельной зонной плавки; плавки во взвешенном состоянии; спекания, термической обработки (отжига), испарения и конденсации металлов, сплавов, металлодиэлектрических смесей, неорганических соединений в вакууме или контролируемой атмосфере. Обслуживание вакуумных электротермических установок. Изготовление, доводка и монтаж нагревателей, испарителей, экранов и другой сменной оснастки на вакуумных электротермических установках. Дозировка и загрузка исходных материалов в условиях строгого соблюдения правил вакуумной гигиены; контроль степени разрешения или состава и давления атмосферы в камере установки. Анализ структуры под микроскопом и микросъема (фотографирование под микроскопом). Заключение о пригодности сплава.
Должен знать: устройство и принцип действия обслуживаемых установок; устройство, назначение и условия применения соответствующего вспомогательного оборудования и измерительных приборов; основы вакуумной техники и электротехники по обслуживанию электротермических установок средней сложности; правила определения состава сплава и его структуры; правила проведения микрофотосъемки.
§ 13. Плавильщик - литейщик прецизионных сплавов5-й разряд
Характеристика работ. Проведение процессов плавки в тигле или лодочке с целью получения многокомпонентных сплавов. Обслуживание вакуумных электротермических установок любой сложности. Регулирование температуры в рабочей зоне и режима работы всех узлов установки; корректировка состава сплавов и смесей, рафинирование металлов и соединений от примесей; определение качества продукции по внешним признакам. Участие в наладке основного и вспомогательного оборудования. Запись показателей процесса в рабочем журнале.
Должен знать: конструкцию, принципиальные схемы и технические характеристики обслуживаемых установок; способы наладки и настройки на рабочий режим основного и вспомогательного оборудования; правила настройки и регулировки измерительных приборов; условия и режимы получения продукции необходимого качества; требования, предъявляемые к качеству исходных материалов и готовой продукции; основы вакуумной техники, электротермии, электротехники.
Примеры работ
1. Сплавы прецизионного состава - проведение процесса выплавки в высоковакуумной индукционной плавильной печи.
2. Металлы - проведение процесса бестигельной зонной плавки электронной бомбардировкой на специальной установке.
3. Сплавы тугоплавкие - проведение процесса выплавки в электронно - лучевой плавильной печи.
4. Сплавы прецизионные - проведение процесса выплавки на установке для плавки металлов во взвешенном состоянии.
§ 14. Плавильщик - литейщик прецизионных сплавов6-й разряд
Характеристика работ. Составление расчетных условий для проведения плавок по заданным рецептам, регулировка режимов плавки. Общий контроль за работой всех электротермических установок производственного участка.
Должен знать: признаки, характеризующие переходные моменты отдельных стадий и окончание технологического процесса; наиболее рациональные режимы; основы физической химии металлов; поведение различных металлов и соединений при вакуумно - термической обработке, значение примесей; технические условия на продукцию.
Требуется среднее профессиональное образование.
§ 15. Плавильщик циклонной установки5-й разряд
Характеристика работ. Загрузка золы, угля - восстановителя и других компонентов шихты. Регулирование поступления горючего, воздуха и температуры. Проверка состояния ванны, расплавленной массы, свода, стен копильника, состояние печи, форсунок, желобов, выпускных отверстий, рабочих площадок, исправности инструмента и наличия материалов. Управление загрузочными механизмами, весоизмерителями и транспортными средствами. Отбор проб. Открывание и закрывание выпускных отверстий. Обслуживание установки, вспомогательного оборудования и участие в их ремонте. Ведение процесса плавки шихты в циклонной установке под руководством плавильщика более высокой квалификации.
Должен знать: технические условия и требования, предъявляемые к качеству сырья, материалов, шихты, огнеупорных материалов и продуктов плавки; расположение и емкость расходных бункеров и других загрузочных устройств; предельную нагрузку оборудования; схемы тепловой, воздушной и водяной коммуникаций и газоходов; состав газов; факторы, влияющие на производительность установок; установленное извлечение и содержание металла в отвальных шлаках; виды и основные свойства топлива; условную сигнализацию.
При участии в процессе плавки шихты в циклонной установке совместно с плавильщиком более высокой квалификации - 4-й разряд.
§ 16. Плавильщик циклонной установкиХарактеристика работ. Ведение процесса плавки шихты в циклонной установке. Наблюдение за помолом угля, подачей топлива и сырья в расходные бункера, за необходимым его запасом, за правильным исполнением технологических инструкций и режимных карт, за поступлением воды, топлива, воздуха в установки, за состоянием оборудования, вентиляции, механизмов, отсасывающих газ. Проверка правильности показаний приборов, температуры в копильнике и температуры отходящего воздуха. Ведение технической документации, учет выпуска продукции. Выявление и устранение неисправностей в работе обслуживаемого оборудования.
Должен знать: конструктивные особенности установок; значение влияния химического состава шихты, восстановителя и температуры на процесс пироселекции германия при плавке шихты в циклонной установке; способы воздействия на ход производственного процесса с целью наиболее полного перевода германия в газовую фазу; свойства применяемого сырья и материалов; состав шихты и продуктов плавки; основы физики, химии и теплотехники.
§ 17. Приготовитель шихты полупроводниковых материалов2 - 5 разряды
Характеристика работ. Компоновка полупроводниковых материалов и материалов интерметаллических соединений по составу, типу проводимости, концентрации носителей зарядов, удельному сопротивлению исходных элементов и полупродуктов. Определение по графикам, таблицам или расчетным путем соотношения компонентов и количества добавляемой лигатуры, различных присадок в зависимости от марки продукции. Дробление исходных элементов, полупродуктов. Взвешивание загрузки компонентов, лигатуры, различных присадок. Сборка, заварка, вакуумирование, отпайка и подготовка к ведению технологических процессов реакционных аппаратов. Подготовка тары для загрузки пластин, легирующих добавок. Подготовка к работе обслуживаемого оборудования и приспособлений. Ведение технической документации. Содержание в чистоте рабочего места.
Должен знать: методы и приемы расчета навесок компонентов многокомпонентных полупроводниковых материалов; основы легирования и влияние легирующих добавок на качество готовой продукции; правила работы на аналитических и других весах; правила расчета состава и средней концентрации носителей заряда полупроводниковых материалов; причины брака, меры предупреждения и устранения его; физико - химические свойства сырья, готовой продукции, вспомогательных материалов; технические условия и государственные стандарты на сырье, готовую продукцию и вспомогательные материалы; технологическую схему производства; устройство обслуживаемого оборудования; правила работы с высокочистыми материалами; основы электротехники, физики, химии, вакуумной техники, физики полупроводников, химии чистых веществ, кристаллографии.
При выполнении вспомогательных работ по компоновке и легированию полупроводниковых материалов и материалов интерметаллических соединений, обработки технологической оснастки и тары - 2-й разряд.
При компоновке и легировании полупроводниковых материалов и материалов интерметаллических соединений под руководством аппаратчика более высокой квалификации; при компоновке и легировании элементарных полупроводников - 3-й разряд.
При компоновке полупроводниковых материалов и материалов интерметаллических соединений; при легировании полупроводниковых материалов - 4-й разряд.
При расчете и одновременном легировании двумя и более легирующими добавками, примесями; при легировании материалов интерметаллических соединений; при проведении опытных работ по освоению легирования новыми примесями - 5-й разряд.
§ 18. Шлифовщик - полировщик по прецизионной обработке полупроводниковых материалов2-й разряд
Характеристика работ. Грубое шлифование пластин на станке или вручную абразивными порошками или шлифовальными кругами. Закрепление пластин на шлифовальном столике с помощью наклеечных веществ или на вакуумном столе и снятие их с последующей промывкой. Приготовление абразивной суспензии для шлифования из микропорошков.
Должен знать: принцип действия обслуживаемого оборудования; способ подготовки притирного шлифовального диска; приготовление клеящей мастики и способы ее отмывки; марки применяемых абразивных материалов; технологию отмачивания микропорошков.
Примеры работ
Пластины из ферритов - грубое шлифование на станке или вручную.
§ 19. Шлифовщик - полировщик по прецизионной обработке полупроводниковых материалов3-й разряд
Характеристика работ. Шлифование пластин, изделий на станке или вручную абразивными порошками или шлифовальными кругами до заданных параметров шероховатости и толщины. Замер толщины шлифуемых пластин. Приготовление абразивной суспензии для шлифования из микропорошков. Наблюдение в процессе работы за исправностью оборудования. Настройка станка на заданный размер, выбор режимов обработки. Предупреждение возникновения брака. Установка и замена шлифовального круга. Правка шлифовальных кругов. Доводка плоскости шлифовальника станка.
Должен знать: устройство, принцип работы, правила эксплуатации и способы подналадки станков и приспособлений для шлифования; способы наладки оборудования на заданный размер шлифовки, методы и способы механического и ручного шлифования; способ подготовки притирного шлифовального диска, изготовление клеящих мастик и способы их отмывки; марки применяемых абразивных материалов и их основные свойства; правила пользования измерительным инструментом (микрометры, индикаторные головки и др.); маркировку шлифовальных кругов, способы правки шлифовального круга; методику измерения; требования к чистоте поверхности после шлифования; механические свойства германия, кремния, арсенида галлия и др.
Примеры работ
1. Лампы титанокерамические - притирка на станке абразивными порошками воротничков сетки.
2. Пластины - шлифование с точностью +/- 15 мкм.
§ 20. Шлифовщик - полировщик по прецизионной обработке полупроводниковых материалов4-й разряд
Характеристика работ. Шлифование пластин вручную тонкими абразивными порошками. Шлифование пластин алмазными кругами, тонкими микропорошками на шлифовальных станках. Полирование пластин с точностью +/- 10 мкм на полировальных станках. Приготовление шлифующей и полировальной суспензии из абразивных микропорошков и минеральных масел. Подготовка станков и оснастки для точного шлифования и полирования. Проверка неплоскостности и непараллельности шлифовальника. Контроль и регулирование режимов обработки. Правка алмазного инструмента. Замер торцевого биения шлифовальника. Определение качества обработки. Обнаружение и предупреждение брака.
Должен знать: устройство, принцип работы и правила эксплуатации применяемого оборудования; обозначение допусков на чертежах; основные свойства алмазных микропорошков; свойства полупроводников, определение качества поверхности притирного шлифовального диска; требования, предъявляемые к шероховатости обрабатываемых пластин; требования, предъявляемые к геометрической форме обрабатываемых пластин; методы измерения геометрической формы и шероховатости пластин после шлифования и полирования; виды и причины брака.
Примеры работ
1. Пластины - шлифование абразивными микропорошками М40, М28; полирование микропорошками М5.
2. Пластины кремния - чистое шлифование алмазными шлифовальными кругами с отклонением толщины +/- 5 мкм.
§ 21. Шлифовщик - полировщик по прецизионной обработке полупроводниковых материалов5-й разряд
Характеристика работ. Шлифование (полирование) пластин пастами, алмазными кругами, тонкими микропорошками с точностью +/- 5 мкм. Шлифование (полирование) опытных образцов пластин. Полирование алмазными пастами и микропорошками; химико - механическое полирование пластин окисью кремния, безабразивным составом и окисью циркония на мягком шлифовальнике (замшевом). Подготовка полировального материала, доводка оправки и проверка ее неплоскостности с помощью лекальной линейки; обезжиривание пластин органическими растворителями (бензином). Определение качества обработанной поверхности. Приготовление суспензии из различных порошков, алмазных паст, минеральных масел, органических кислот, бензина. Выбор рациональных режимов обработки. Одновременное обслуживание двух станков.
Должен знать: режим работы оборудования; способы проверки на точность различных моделей оборудования; правильную дозировку химических компонентов для химико - механического полирования; основные физико - механические свойства полупроводниковых материалов; правила пользования высокоточными контрольно - измерительными приборами; способы подбора микропорошков для достижения заданных параметров шероховатости поверхности; правила посадки пластин.
1. Пластины (германий, кремний, арсенид галлия); пластины галлий - гадолиниевого граната - полирование субмикронными алмазными порошками.
2. Пластины - шлифование связанными алмазами на станке алмазной шлифовки (САШ-420; СПШ-1; МШ-259).
§ 22. Шлифовщик - полировщик по прецизионной обработке полупроводниковых материалов6-й разряд
Характеристика работ. Тонкое шлифование (полирование) пластин и особо точных деталей на станках различных типов. Полирование с применением синтетических полировальных материалов, полирование на оптических смолах. Полирование с применением оптического контакта. Обработка режимов шлифования (полирования). Доводка сепараторов на станках двухстороннего шлифования. Выявление причин и устранение неисправностей обслуживаемого оборудования.
Должен знать: конструкцию, способы и правила проверки на точность различных типов оборудования; способы установки, крепления и выверки сложных деталей; методы определения последовательности обработки; оснастку и подготовку оборудования для полирования пластин на оптических смолах; способы подготовки смолы к работе; способы приготовления защитного лака для полирования с применением оптического контакта; природу образования нарушенных слоев в шлифованных и полированных пластинах; виды брака при тонкой обработке и методы их обнаружения и устранения.
Примеры работ
1. Пластины - полирование на смоле окисью хрома (величина зерна не более 1 мкм).
2. Пластины - двухстороннее шлифование, полировка.
ПЕРЕЧЕНЬ НАИМЕНОВАНИЙ ПРОФЕССИЙ РАБОЧИХ, ПРЕДУСМОТРЕННЫХ НАСТОЯЩИМ РАЗДЕЛОМ, С УКАЗАНИЕМ ИХ НАИМЕНОВАНИЙ ПО ДЕЙСТВОВАВШИМ РАЗДЕЛАМ ЕТКС (ИЗДАНИЕ 1985 - 1986 ГГ.)