| Направление 5 "Электронные материалы и структуры" |
55. | Разработка технологии производства новых диэлектрических материалов на основе ромбоэдрической модификации нитрида бора и подложек из поликристаллического алмаза | | 132 | | 54 | | 51 | | 27 | | - | | - | | внедрение новых диэлектрических материалов на основе ромбоэдрической модификации нитрида бора и подложек из поликристаллического алмаза с повышенной теплопроводностью и электропроводностью для создания нового поколения высокоэффективных и надежных сверхвысокочастотных приборов |
| 85 | | 36 | | 32 | | 17 | | | |
56. | Разработка технологии производства гетероэпитаксиальных структур и структур гетеробиполярных транзисторов на основе нитридных соединений А В для мощных полупроводниковых приборов и сверхвысокочастотных монолитных интегральных схем | | 131 | | - | | - | | - | | 77 | | 54 | | создание технологии производства гетероэпитаксиальных структур и структур гетеробиполярных транзисторов на основе нитридных соединений А_3 В_ для обеспечения разработок и изготовления сверхвысокочастотных монолитных интегральных схем и мощных транзисторов |
| 87 | | | | | 51 | | 36 | |
57. | Разработка базовой технологии производства метаморфных структур на основе GaAs и псевдоморфных структур на подложках InP для приборов сверхвысокочастотной электроники диапазона 60-90 ГГц | | 129 | | 52 | | 50 | | 27 | | - | | - | | создание базовой технологии производства гетероструктур и псевдоморфных структур на подложках InP для перспективных полупроводниковых приборов и сверхвысокочастотных монолитных интегральных схем диапазона 60-90 ГГц |
| 84 | | 34 | | 32 | | 18 | | | |
58. | Разработка технологии производства спинэлектронных магнитных материалов, радиопоглощающих и мелкодисперсных ферритовых материалов для сверхвысокочастотных приборов | | 133 | | - | | - | | - | | 79 | | 54 | | создание спинэлектронных магнитных материалов и микроволновых структур со спиновым управлением для создания перспективных микроволновых сверхвысокочастотных приборов повышенного быстродействия и низкого энергопотребления |
| 88 | | | | | 52 | | 36 | |
59. | Разработка технологии производства высокочистых химических материалов (аммиака, арсина, фосфина, тетрахлорида кремния) в обеспечение производства полупроводниковых подложек нитрида галлия, арсенида галлия, фосфида индия, кремния и гетероэпитаксиальных структур на их основе | | 128 | | 51 | | 50 | | 27 | | - | | - | | создание технологии массового производства высокочистых химических материалов (аммиака, арсина, фосфина, тетрахлорида кремния) для выпуска полупроводниковых подложек нитрида галлия, арсенида галлия, фосфида индия, кремния и гетероэпитаксиальных структур на их основе |
| 85 | | 36 | | 31 | | 18 | | | |
60. | Разработка технологии производства поликристаллических алмазов и их пленок для теплопроводных конструкций мощных выходных транзисторов и сверхвысокочастотных приборов | | 134 | | - | | - | | - | | 79 | | 55 | | создание технологии производства поликристаллических алмазов и его пленок для мощных сверхвысокочастотных приборов |
| 88 | | | | | 52 | | 36 | |
61. | Исследование путей и разработка технологии изготовления новых микроволокон на основе двухмерных диэлектрических и металлодиэлектрических микро- и наноструктур, а также полупроводниковых нитей с наноразмерами при вытяжке стеклянного капилляра, заполненного жидкой фазой полупроводника | | 98 | | 41 | | 36 | | 21 | | - | | - | | создание технологии изготовления новых микроволокон на основе двухмерных диэлектрических и металлодиэлектрических микро- и наноструктур для новых классов микроструктурных приборов, магниторезисторов, осцилляторов, устройств оптоэлектроники |
| 65 | | 27 | | 24 | | 14 | | | |
62. | Разработка технологии выращивания слоев пьезокерамики на кремниевых подложках для формирования комплексированных устройств микросистемной техники | | 106 | | - | | - | | 25 | | 44 | | 37 | | создание базовой пленочной технологии пьезокерамических элементов, совместимой с комплементарной металлооксидной полупроводниковой технологией для разработки нового класса активных пьезокерамических устройств, интегрированных с микросистемами |
| 69 | | | | 17 | | 28 | | 24 | |
63. | Разработка методологии и базовых технологий создания многослойных кремниевых структур с использованием "жертвенных" и "стопорных" диффузионных и диэлектрических слоев для производства силовых приборов и элементов микроэлектромеханических систем | | 98 | | 41 | | 36 | | 21 | | - | | - | | создание технологии травления и изготовления кремниевых трехмерных базовых элементов микроэлектромеханических систем с использованием "жертвенных" и "стопорных" слоев для серийного производства элементов микроэлектромеханических систем кремниевых структур с использованием силикатных стекол, моно-, поликристаллического и пористого кремния и диоксида кремния |
| 64 | | 26 | | 24 | | 14 | | | |
64. | Разработка базовых технологий получения алмазных полупроводниковых наноструктур и наноразмерных органических покрытий с широким диапазоном функциональных свойств | | 105 | | - | | - | | - | | 61 | | 44 | | создание технологии получения алмазных полупроводниковых наноструктур и наноразмерных органических покрытий, алмазных полупроводящих пленок для конкурентоспособных высокотемпературных и радиационно стойких устройств и приборов двойного назначения |
| 70 | | | | | 41 | | 29 | |
65. | Исследование и разработка технологии роста эпитаксиальных слоев карбида кремния, структур на основе нитридов, а также формирования изолирующих и коммутирующих слоев в приборах экстремальной электроники | | 191 | | 50 | | 57 | | 84 | | - | | - | | создание технологии изготовления гетероструктур и эпитаксиальных структур на основе нитридов для создания радиационно стойких сверхвысокочастотных и силовых приборов нового поколения |
| 128 | | 35 | | 38 | | 55 | | | |
66. | Разработка технологии производства радиационно стойких сверхбольших интегральных схем на ультратонких гетероэпитаксиальных структурах кремния на сапфировой подложке для производства электронной компонентной базы специального и двойного применения | | 227 | | 67 | | 52 | | 108 | | - | | - | | создание технологии производства структур "кремний на сапфире" диаметром до 150 мм с толщиной приборного слоя до 0,1 мкм и топологическими нормами до 0,18 мкм для производства электронной компонентной базы специального и двойного назначения |
| 130 | | 40 | | 35 | | 55 | | | |
67. | Разработка технологии производства высокоомного радиационно облученного кремния, слитков и пластин кремния диаметром до 150 мм для производства силовых полупроводниковых приборов | | 191 | | 45 | | 54 | | 92 | | - | | - | | создание технологии производства радиационно облученного кремния и пластин кремния до 150 мм для выпуска мощных транзисторов и сильноточных тиристоров нового поколения |
| 126 | | 30 | | 36 | | 60 | | | |
68. | Разработка технологии производства кремниевых подложек и структур для силовых полупроводниковых приборов с глубокими высоколегированными слоями р- и n-типов проводимости и скрытыми слоями носителей с повышенной рекомбинацией | | 114 | | 22 | | 36 | | 56 | | - | | - | | разработка и промышленное освоение получения высококачественных подложек и структур для использования в производстве силовых полупроводниковых приборов, с глубокими высоколегированными слоями и скрытыми слоями носителей с повышенной рекомбинацией |
| 83 | | 20 | | 24 | | 39 | | | |
69. | Разработка технологии производства электронного кремния, кремниевых пластин диаметром до 200 мм и кремниевых эпитаксиальных структур уровня технологии 0,25 - 0,18 мкм | | 326 | | 110 | | 72 | | 144 | | - | | - | | создание технологии производства пластин кремния диаметром до 200 мм и эпитаксиальных структур уровня 0,25 - 0,18 мкм |
| 233 | | 71 | | 48 | | 114 | | | |
70. | Разработка методологии, конструктивно-технических решений и перспективной базовой технологии корпусирования интегральных схем и полупроводниковых приборов на основе использования многослойных кремниевых структур со сквозными токопроводящими каналами | | 232 | | - | | - | | - | | 109 | | 123 | | разработка технологии корпусирования интегральных схем и полупроводниковых приборов на основе использования многослойных кремниевых структур со сквозными токопроводящими каналами, обеспечивающей сокращение состава сборочных операций и формирование трехмерных структур |
| 161 | | | | | 78 | | 83 | |
71. | Разработка технологии производства гетероструктур SiGe биполярной комплементарной металл-окисел полупроводниковой технологии для разработки приборов с топологическими нормами 0,25 - 0,18 мкм | | 220 | | - | | - | | - | | 85 | | 135 | | создание базовой технологии производства гетероструктур SiGe для выпуска быстродействующих сверхбольших интегральных схем с топологическими нормами 0,25 - 0,18 мкм |
| 143 | | | | | 53 | | 90 | |
72. | Разработка технологии выращивания и обработки, в том числе плазмохимической, новых пьезоэлектрических материалов для акустоэлектроники и акустооптики | | 78 | | 32 | | 28 | | 18 | | - | | - | | создание технологии выращивания и обработки пьезоэлектрических материалов акустоэлектроники и акустооптики для обеспечения производства широкой номенклатуры акустоэлектронных устройств нового поколения |
| 55 | | 21 | | 22 | | 12 | | | |
73. | Разработка технологий производства соединений А_3 В_5 и тройных структур для: производства сверхмощных лазерных диодов; высокоэффективных светодиодов белого, зеленого, синего и ультрафиолетового диапазонов; фотоприемников среднего инфракрасного диапазона | | 87 | | - | | - | | - | | 32 | | 55 | | создание технологии массового производства исходных материалов и структур для перспективных приборов лазерной и оптоэлектронной техники, в том числе: производства сверхмощных лазерных диодов; высокоэффективных светодиодов белого, зеленого, синего и ультрафиолетового диапазонов; фотоприемников среднего инфракрасного диапазона |
| 58 | | | | | 22 | | 36 | |
74. | Исследование и разработка технологии получения гетероструктур с вертикальными оптическими резонаторами на основе квантовых ям и квантовых точек для производства вертикально излучающих лазеров для устройств передачи информации и матриц для оптоэлектронных переключателей нового поколения | | 80 | | 32 | | 30 | | 18 | | - | | - | | создание технологии производства принципиально новых материалов полупроводниковой электроники на основе сложных композиций для перспективных приборов лазерной и оптоэлектронной техники |
| 55 | | 22 | | 22 | | 11 | | | |
75. | Разработка технологии производства современных компонентов для специализированных фотоэлектронных приборов, в том числе: катодов и газопоглотителей; электронно-оптических и отклоняющих систем; стеклооболочек и деталей из электровакуумного стекла различных марок | | 86 | | - | | - | | - | | 32 | | 54 | | создание технологии производства компонентов для специализированных электронно-лучевых; электроннооптических и отклоняющих систем; стеклооболочек и деталей из электровакуумного стекла различных марок |
| 57 | | | | | 22 | | 35 | |
76. | Разработка технологии производства особо тонких гетерированных нанопримесями полупроводниковых структур для высокоэффективных фотокатодов, электронно-оптических преобразователей и фотоэлектронных умножителей, приемников инфракрасного диапазона, солнечных элементов и др., фотоэлектронных приборов с высокими значениями коэффициента полезного действия | | 80 | | 33 | | 30 | | 17 | | - | | - | | создание технологии производства особо тонких гетерированных нанопримесями полупроводниковых структур для изготовления высокоэффективных фотокатодов электроннооптических преобразователей и фотоэлектронных умножителей, приемников инфракрасного диапазона, солнечных элементов и других приложений |
| 54 | | 22 | | 20 | | 12 | | | |
77. | Разработка базовой технологии производства монокристаллов AlN для изготовления изолирующих и проводящих подложек для гетероструктур | | 85 | | - | | - | | - | | 32 | | 53 | | создание технологии монокристаллов AlN для изготовления изолирующих и проводящих подложек для создания полупроводниковых высокотемпературных и мощных сверхвысокочастотных приборов нового поколения |
| 58 | | | | | 22 | | 36 | |
78. | Разработка базовой технологии производства наноструктурированных оксидов металлов (корунда и т. п.) для производства вакуумно-плотной нанокерамики, в том числе с заданными оптическими свойствами | | 80 | | 33 | | 30 | | 17 | | - | | - | | создание базовой технологии вакуумно-плотной спецстойкой керамики из нанокристаллических порошков и нитридов металлов для промышленного освоения спецстойких приборов нового поколения, в том числе микрочипов, сверхвысокочастотных аттенюаторов, RLC-матриц, а также особо прочной электронной компонентной базы оптоэлектроники и фотоники |
| 54 | | 22 | | 20 | | 12 | | | |
79. | Разработка базовой технологии производства полимерных и гибридных органонеорганических наноструктурированных защитных материалов для электронных компонентов нового поколения прецизионных и сверхвысокочастотных резисторов, терминаторов, аттенюаторов и резисторно-индукционно-емкостных матриц, стойких к воздействию комплекса внешних и специальных факторов | | 86 | | - | | - | | - | | 33 | | 53 | | создание технологии производства полимерных и композиционных материалов с использованием поверхностной и объемной модификации полимеров наноструктурированными наполнителями для создания изделий с высокой механической, термической и радиационной стойкостью при работе в условиях длительной эксплуатации и воздействии комплекса специальных внешних факторов |
| 58 | | | | | 21 | | 37 | |
| Всего по направлению 5 | | 3357 | | 663 | | 612 | | 702 | | 663 | | 717 | | |
| 2238 | | 442 | | 408 | | 468 | | 442 | | 478 | |
| Направление 6 "Группы пассивной электронной компонентной базы" |
80. | Разработка технологии выпуска прецизионных температуростабильных высокочастотных до 1,5 - 2 ГГц резонаторов на поверхностно акустических волнах до 1,5 ГГц с полосой до 70 процентов и длительностью сжатого сигнала до 2-5 нс | | 57 | | 24 | | 18 | | 15 | | - | | - | | разработка расширенного ряда резонаторов с повышенной кратковременной и долговременной стабильностью для создания контрольной и связной аппаратуры двойного назначения |
| 38 | | 16 | | 12 | | 10 | | | |
81. | Разработка в лицензируемых и нелицензируемых международных частотных диапазонах 860 МГц и 2,45 ГТц ряда радиочастотных пассивных и активных акустоэлектронных метоктранспондеров, в том числе работающих в реальной помеховой обстановке, для систем радиочастотной идентификации и систем управления доступом | | 120 | | - | | - | | 21 | | 48 | | 51 | | создание технологии и конструкции акустоэлектронных пассивных и активных метоктранспондеров для применения в логистических приложениях на транспорте, в торговле и промышленности |
| 80 | | | | 14 | | 32 | | 34 | |
82. | Разработка базовой конструкции и промышленной технологии производства пьезокерамических фильтров в корпусах для поверхностного монтажа | | 56 | | 24 | | 17 | | 15 | | - | | - | | создание технологии проектирования и базовых конструкций пьезоэлектрических фильтров в малогабаритных корпусах для поверхностного монтажа при изготовлении связной аппаратуры массового применения |
| 37 | | 16 | | 11 | | 10 | | | |
83. | Разработка технологии проектирования, базовой технологии производства и конструирования акустоэлектронных устройств нового поколения и фильтров промежуточной частоты с высокими характеристиками для современных систем связи, включая высокоизбирательные высокочастотные устройства частотной селекции на поверхностных и приповерхностных волнах и волнах Гуляева-Блюштейна с предельно низким уровнем вносимого затухания для частотного диапазона до 5 ГГц | | 125 | | 86 | | 39 | | - | | - | | - | | создание базовой технологии акустоэлектронных приборов для перспективных систем связи, измерительной и навигационной аппаратуры нового поколения - подвижных, спутниковых, тропосферных и радиорелейных линий связи, цифрового интерактивного телевидения, радиоизмерительной аппаратуры, радиолокационных станций, спутниковых навигационных систем |
| 83 | | 57 | | 26 | | | | |
84. | Разработка технологии проектирования и базовой технологии производства функциональных законченных устройств стабилизации, селекции частоты и обработки сигналов типа "система в корпусе" | | 96 | | - | | - | | 33 | | 63 | | - | | создание технологии производства высокоинтегрированной электронной компонентной базы типа "система в корпусе" для вновь разрабатываемых и модернизируемых сложных радиоэлектронных систем и комплексов |
| 64 | | | | 22 | | 42 | | |
85. | Разработка базовой конструкции и технологии изготовления высокочастотных резонаторов и фильтров на объемных акустических волнах для телекоммуникационных и навигационных систем | | 69 | | - | | - | | - | | 48 | | 21 | | создание базовой технологии (2010 г.) и базовой конструкции микроминиатюрных высокодобротных фильтров для малогабаритной и носимой аппаратуры навигации и связи |
| 46 | | | | | 32 | | 14 | |
86. | Разработка технологии и базовой конструкции фоточувствительных приборов с матричными приемниками высокого разрешения для видимого и ближнего инфракрасного диапазона для аппаратуры контроля изображений | | 80 | | 50 | | 30 | | - | | - | | - | | создание нового поколения оптоэлектронных приборов для обеспечения задач предотвращения аварий и контроля |
| 53 | | 33 | | 20 | | | | |
87. | Разработка базовой технологии унифицированных электроннооптических преобразователей, микроканальных пластин, пироэлектрических матриц и камер на их основе с чувствительностью до 0,1 К и широкого инфракрасного диапазона | | 50 | | 13 | | 16 | | 21 | | - | | - | | создание базовой технологии нового поколения приборов контроля тепловых полей для задач теплоэнергетики, медицины, поисковой и контрольной аппаратуры на транспорте, продуктопроводах и в охранных системах |
| 33 | | 9 | | 10 | | 14 | | | |
88. | Разработка базовой технологии создания интегрированных гибридных фотоэлектронных высокочувствительных и высокоразрешающих приборов и усилителей для задач космического мониторинга и специальных систем наблюдения, научной и метрологической аппаратуры | | 129 | | 45 | | 45 | | 39 | | - | | - | | создание базовой технологии (2008 г.) и конструкции новых типов приборов, сочетающих фотоэлектронные и твердотельные технологии, с целью получения экстремально достижимых характеристик для задач контроля и наблюдения в системах двойного назначения |
| 85 | | 30 | | 30 | | 25 | | | |
89. | Разработка базовых технологий мощных полупроводниковых лазерных диодов (непрерывного и импульсного излучения) специализированных лазерных полупроводниковых диодов, фотодиодов и лазерных волоконно-оптических модулей для создания аппаратуры и систем нового поколения | | 159 | | 63 | | 45 | | 51 | | - | | - | | создание базовой технологии (2008 г.) и конструкций принципиально новых мощных диодных лазеров, предназначенных для широкого применения в изделиях двойного назначения, медицины, полиграфического оборудования и системах открытой оптической связи |
| 106 | | 42 | | 30 | | 34 | | | |
90. | Разработка и освоение базовых технологий для лазерных навигационных приборов, включая интегральный оптический модуль лазерного гироскопа на базе сверхмалогабаритных кольцевых полупроводниковых лазеров инфракрасного диапазона, оптоэлектронные компоненты для широкого класса инерциальных лазерных систем управления движением гражданских и специальных средств транспорта | | 98 | | - | | - | | 15 | | 60 | | 23 | | разработка базового комплекта основных оптоэлектронных компонентов для лазерных гироскопов широкого применения (2010 г.), создание комплекса технологий обработки и формирования структурных и приборных элементов, оборудования контроля и аттестации, обеспечивающих новый уровень технико-экономических показателей производства |
| 65 | | | | 10 | | 40 | | 15 | |
91. | Разработка базовых конструкций и технологий создания квантово-электронных приемопередающих модулей для малогабаритных лазерных дальномеров нового поколения на основе твердотельных чип-лазеров с полупроводниковой накачкой, технологических лазерных установок широкого спектрального диапазона | | 74 | | 27 | | 22 | | 25 | | - | | - | | создание базовой технологии твердотельных чип-лазеров для лазерных дальномеров, твердотельных лазеров с пикосекундными длительностями импульсов для установок по прецизионной обработке композитных материалов, для создания элементов и изделий микромашиностроения и в производстве электронной компонентной базы нового поколения, мощных лазеров для применения в машиностроении, авиастроении, автомобилестроении, судостроении, в составе промышленных технологических установок обработки и сборки, систем экологического мониторинга окружающей среды, контроля выбросов патогенных веществ, контроля утечек в продуктопроводах |
| 50 | | 18 | | 15 | | 17 | | | |